产品简介
蓝宝石基片CMP浆料是森博研究中心生产的水溶性高纯度浆料，主要用于蓝宝石高质量平整化加工。产品移除率高、工艺匹配性好、使用寿命长、易清洗，加工后表面平整度、粗糙度等各项指标均达到国内先进水平,在实际应用中其卓越的性能得到了充分的肯定。
主要特点
蓝宝石基片CMP浆料用特选的Si02水溶胶作为料，具有金属杂质沾污极少、易清洗、加工速率高、损伤层小、平整度高，划伤少等特点。在抛光中根据需要可以优化不同配比，均能达到最佳使用效果。与国内外同类产品相比，该产品具有抛光表面质量好、缺陷少、表面张力小、易清洗等优点。
主要用途
主要用于蓝宝石基片的高质量平整化加工。
基本参数
参数
使用方法
CMP浆料建议和去离子水的配比为1:1，也可根据实际工艺要求改变配比。
运输及保存
1、运输与存放温度为5℃~35℃。存放时应避光，以避免浆料变质。
2、保质期一年，建议六个月内使用。
3、避免金属、颗粒污染，避免与强电解质的接触。
效果呈现
蓝宝石基片抛光后AFM形貌（Ra=0.188nm）
